सफा कोठा सञ्चालनमा आर्द्रता एक सामान्य वातावरणीय नियन्त्रण अवस्था हो। अर्धचालक सफा कोठामा सापेक्षिक आर्द्रताको लक्ष्य मान ३० देखि ५०% को दायरामा नियन्त्रित गरिन्छ, जसले गर्दा त्रुटि ±१% को साँघुरो दायरा भित्र हुन सक्छ, जस्तै फोटोलिथोग्राफिक क्षेत्र - वा टाढाको पराबैंगनी प्रशोधन (DUV) क्षेत्रमा अझ सानो। - अन्य ठाउँहरूमा, तपाईं ±५% भित्र आराम गर्न सक्नुहुन्छ।
किनभने सापेक्षिक आर्द्रतामा धेरै कारकहरू हुन्छन् जसले सफा कोठाको समग्र कार्यसम्पादनमा योगदान पुर्याउन सक्छन्, जसमा निम्न समावेश छन्:
● ब्याक्टेरियाको वृद्धि;
● कोठाको तापक्रममा कर्मचारीहरूले महसुस गर्ने आरामको दायरा;
● स्थिर चार्ज देखा पर्छ;
● धातुको क्षरण;
● पानीको बाष्प संघनन;
● लिथोग्राफीको क्षय;
● पानी अवशोषण।
ब्याक्टेरिया र अन्य जैविक प्रदूषकहरू (ढाँचा, भाइरस, फंगी, माइट्स) ६०% भन्दा माथि सापेक्षिक आर्द्रता भएको वातावरणमा सक्रिय रूपमा गुणन गर्न सक्छन्। सापेक्षिक आर्द्रता ३०% भन्दा बढी हुँदा केही वनस्पतिहरू बढ्न सक्छन्। जब सापेक्षिक आर्द्रता ४०% र ६०% बीचमा हुन्छ, ब्याक्टेरिया र श्वासप्रश्वास संक्रमणको प्रभावलाई कम गर्न सकिन्छ।
४०% देखि ६०% सम्मको सापेक्षिक आर्द्रता पनि एउटा सामान्य दायरा हो जहाँ मानिसहरू सहज महसुस गर्छन्। अत्यधिक आर्द्रताले मानिसहरूलाई निराश महसुस गराउन सक्छ, जबकि ३०% भन्दा कम आर्द्रताले मानिसहरूलाई सुख्खा, फुट्ने, श्वासप्रश्वासमा असुविधा र भावनात्मक असुविधा महसुस गराउन सक्छ।
उच्च आर्द्रताले वास्तवमा सफा कोठाको सतहमा स्थिर चार्जको संचयलाई कम गर्छ - यो इच्छित परिणाम हो। कम आर्द्रता चार्ज संचयको लागि बढी उपयुक्त हुन्छ र इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्जको सम्भावित रूपमा हानिकारक स्रोत हो। जब सापेक्षिक आर्द्रता ५०% भन्दा बढी हुन्छ, स्थिर चार्ज द्रुत रूपमा नष्ट हुन थाल्छ, तर जब सापेक्षिक आर्द्रता ३०% भन्दा कम हुन्छ, तिनीहरू इन्सुलेटर वा जमिन नभएको सतहमा लामो समयसम्म रहन सक्छन्।
३५% र ४०% बीचको सापेक्षिक आर्द्रता सन्तोषजनक सम्झौता हुन सक्छ, र अर्धचालक सफा गर्ने कोठाहरूले सामान्यतया स्थिर चार्जको संचयलाई सीमित गर्न अतिरिक्त नियन्त्रणहरू प्रयोग गर्छन्।
सापेक्षिक आर्द्रता बढ्दै जाँदा क्षरण प्रक्रिया सहित धेरै रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको गति बढ्नेछ। सफा कोठा वरपरको हावामा परेका सबै सतहहरू पानीको कम्तिमा एक मोनोलेयरले छिट्टै ढाकिन्छन्। जब यी सतहहरू पातलो धातुको कोटिंगबाट बनेका हुन्छन् जसले पानीसँग प्रतिक्रिया गर्न सक्छ, उच्च आर्द्रताले प्रतिक्रियालाई गति दिन सक्छ। सौभाग्यवश, केही धातुहरू, जस्तै एल्युमिनियम, पानीसँग सुरक्षात्मक अक्साइड बनाउन सक्छन् र थप अक्सिडेशन प्रतिक्रियाहरूलाई रोक्न सक्छन्; तर अर्को केस, जस्तै तामा अक्साइड, सुरक्षात्मक हुँदैन, त्यसैले उच्च आर्द्रता वातावरणमा, तामाको सतहहरू क्षरणको लागि बढी संवेदनशील हुन्छन्।
यसको अतिरिक्त, उच्च सापेक्षिक आर्द्रता भएको वातावरणमा, ओसिलोपनको अवशोषणको कारणले गर्दा बेकिंग चक्र पछि फोटोरेसिस्ट विस्तारित र बढ्छ। उच्च सापेक्षिक आर्द्रताले फोटोरेसिस्ट आसंजनलाई पनि नकारात्मक रूपमा असर गर्न सक्छ; कम सापेक्षिक आर्द्रता (लगभग ३०%) ले पोलिमरिक परिमार्जकको आवश्यकता बिना नै फोटोरेसिस्ट आसंजनलाई सजिलो बनाउँछ।
अर्धचालक सफा कोठामा सापेक्षिक आर्द्रता नियन्त्रण गर्नु मनमानी होइन। यद्यपि, समय परिवर्तन हुँदै जाँदा, सामान्य, सामान्यतया स्वीकृत अभ्यासहरूको कारण र आधारहरूको समीक्षा गर्नु उत्तम हुन्छ।
हाम्रो मानव आरामको लागि आर्द्रता विशेष रूपमा ध्यान नदिन सक्छ, तर यसले प्रायः उत्पादन प्रक्रियामा ठूलो प्रभाव पार्छ, विशेष गरी जहाँ आर्द्रता उच्च हुन्छ, र आर्द्रता प्रायः सबैभन्दा खराब नियन्त्रण हुन्छ, त्यसैले सफा कोठाको तापक्रम र आर्द्रता नियन्त्रणमा, आर्द्रतालाई प्राथमिकता दिइन्छ।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-०१-२०२०